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0755-23116643

高低溫 一 體智能溫控機(jī)(風(fēng)冷型)

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料
如硅晶圓、光刻膠、cmp拋光材料
濕電子化學(xué)品、晶圓體封裝材料前驅(qū)體、M0源等

半導(dǎo)體設(shè)備
如單晶爐、氧化爐光刻機(jī)、PVD/PECVD、探針臺
檢測設(shè)備、分選機(jī)、數(shù)據(jù)中心液冷 CDU分配單元等


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TEL:

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主要特點(diǎn)

水冷型: 設(shè)備使用冷卻水散熱

風(fēng)冷型:設(shè)備使用風(fēng)機(jī)

帶走熱量散熱,無廠務(wù)水需求,可自由放置

智能PID算法,支持分段控溫、自動演算、模糊控制等功能,控溫精度高

制冷機(jī)系統(tǒng)使用熱氣旁通控溫,系統(tǒng)載荷動態(tài)調(diào)節(jié),節(jié)能高效

產(chǎn)品系列覆蓋多溫區(qū),可匹配半導(dǎo)體行業(yè)不同工序

降溫速率快,振動低,噪音小,具備自動purge功能

針對冷卻液管路工藝優(yōu)化,泄露風(fēng)險(xiǎn)低


技術(shù)參數(shù)

項(xiàng) 目

單位

ACSM02A06KW-20

ACSM03A09KW-20

ACSM05A12KW-20

制冷量(+20℃~+100℃)

kW

4.9

7.6

12.7

制冷量(-5℃)

kW

2.4

3.9

6.4

制冷量(-20℃)

kW

0.7

1.6

2.6

壓縮機(jī)功率

kW

2.3

2.9

4.7

循環(huán)泵功率

kW

0.8

0.8

1.5

風(fēng)機(jī)功率

kW

0.3

0.5

1.2

總輸入功率

kW

6.4

7.2

13.4

供電電源

/

3PH~380V~50Hz(可定制220V)

循環(huán)介質(zhì)

/

低溫硅油、氟化液等

溫控精度


±0.5

額定流量

L/min

38

56

95

壓力范圍

kPa

25~150

25~150

25~180

冷凝器型式

/

高效風(fēng)冷式冷凝器

油箱容積

L

≥10

≥10

≥10

冷凍進(jìn)出管徑

Inch

1.2"

1.2"

1.2"

冷媒

/

R404A

整機(jī)重量

kg

300

350

420

運(yùn)行噪音@1m

dB(A)

≤70

外形(L*W*H)

cm

50*60*150

60*70*150

70*80*180


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