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0755-23116643

高低溫一體智能溫控機(風冷型)

主要應用于半導體材料
如硅晶圓、光刻膠、cmp拋光材料
濕電子化學品、晶圓體封裝材料前驅體、M0源等

半導體設備
如單晶爐、氧化爐光刻機、PVD/PECVD、探針臺
檢測設備、分選機、數(shù)據(jù)中心液冷 CDU分配單元等


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TEL:

0755-23116643

主要特點

水冷型: 設備使用冷卻水散熱

風冷型:設備使用風機

帶走熱量散熱,無廠務水需求,可自由放置

智能PID算法,支持分段控溫、自動演算、模糊控制等功能,控溫精度高

制冷機系統(tǒng)使用熱氣旁通控溫,系統(tǒng)載荷動態(tài)調節(jié),節(jié)能高效

產品系列覆蓋多溫區(qū),可匹配半導體行業(yè)不同工序

降溫速率快,振動低,噪音小,具備自動purge功能

針對冷卻液管路工藝優(yōu)化,泄露風險低


技術參數(shù)

項 目

單位

ACSM04A06KW-60

ACSM06A09KW-60

ACSM08A12KW-60

制冷量(+20℃~+100℃)

kW

4.8

5.4

10.0

制冷量(-20℃)

kW

2.5

2.7

5.0

制冷量(-40℃)

kW

1.4

1.4

2.5

制冷量(-60℃)

kW

0.5

0.7

1.6

制熱量

kW

6.0

6.0

6.0

壓縮機功率

kW

4.5

5.4

10.1

循環(huán)泵功率

kW

0.4

0.8

1.5

風機功率

kW

1.0

1.2

2.5

總輸入功率

kW

11.9

13.4

20.1

運行電流

A

26.1

29.4

44.1

供電電源

/

3PH~380V~50Hz(可定制220V)

循環(huán)介質

/

低溫硅油、氟化液等

溫控精度


±0.5

額定流量

L/min

33

39

73

壓力范圍

kPa

25~150

25~150

25~180

冷凝器型式

/

高效風冷式冷凝器

油箱容積

L

≥10

≥10

≥10

冷凍進出管徑

nch

3/4"

1.2"

1.2"

冷媒


R404A、R23

整機重量

kg

350

420

420

運行噪音@1m

dB(A)

≤70

外形(L*W*H)

cm

60*70*150

70*80*180

70*80*180


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