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高低溫一體智能溫控機(jī)(水冷型)-90℃+100℃

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料
如硅晶圓、光刻膠、cmp拋光材料
濕電子化學(xué)品、晶圓體封裝材料前驅(qū)體、M0源等

半導(dǎo)體設(shè)備
如單晶爐、氧化爐光刻機(jī)、PVD/PECVD、探針臺(tái)
檢測(cè)設(shè)備、分選機(jī)、數(shù)據(jù)中心液冷 CDU分配單元等


主要特點(diǎn)

水冷型: 設(shè)備使用冷卻水散熱

風(fēng)冷型:設(shè)備使用風(fēng)機(jī)

帶走熱量散熱,無(wú)廠務(wù)水需求,可自由放置

智能PID算法,支持分段控溫、自動(dòng)演算、模糊控制等功能,控溫精度高

制冷機(jī)系統(tǒng)使用熱氣旁通控溫,系統(tǒng)載荷動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié),節(jié)能高效

產(chǎn)品系列覆蓋多溫區(qū),可匹配半導(dǎo)體行業(yè)不同工序

降溫速率快,振動(dòng)低,噪音小,具備自動(dòng)purge功能

針對(duì)冷卻液管路工藝優(yōu)化,泄露風(fēng)險(xiǎn)低


技術(shù)參數(shù)

項(xiàng) 目

單位

ACSM08W06KW-90

ACSM10W09KW-90

ACSM15W12KW-90

制冷量(+20℃~+100℃)

kW

6.0

7.9

9.4

制冷量(-40℃)

kW

1.8

2.1

2.6

制冷量(-70℃)

kW

1.1

1.3

1.7

制冷量(-90℃)

kW

0.5

0.7

1.0

制熱量

kW

6.0

9.0

12.0

壓縮機(jī)功率

kW

10.1

11.2

13.1

循環(huán)泵功率

kW

1.5

1.5

1.5

總輸入功率

kW

17.6

21.7

26.6

運(yùn)行電流

A

35.1

43.4

53.1

供電電源

/

3PH~380V~50Hz(可定制220V)

循環(huán)介質(zhì)

/

低溫硅油、氟化液等

溫控精度


±0.5

額定流量

L/min

35

40

50

壓力范圍

kPa

25~180

25~300

25~300

冷凝器型式

/

高效水冷式冷凝器

油箱容積

L

≥10

≥20

≥20

冷卻水流量

m3/h

4.6

5.1

5.9

冷凍進(jìn)出管徑

Inch

1.2"

1.2"

1.2"

冷卻進(jìn)出管徑

Inch

1.5"

2.0"

2.0"

冷媒


R404A、R23、R14

整機(jī)重量

kg

420

500

850

運(yùn)行噪音@1m

dB(A)

≤65

外形(L*W*H)

cm

70*80*180

80*120*200

100*120*200


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